7月1日消息，国家知识产权局信息显示，广州广钢气体能源股份有限公司申请一项名为“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统”的专利，授权公告号CN117739275B，授权公告日为2026年6月30日。申请公布号为CN117739275A，申请号为CN202410053314.1，申请公布日期为2026年6月30日，申请日期为2024年1月15日，发明人邓韬、许高坡、钟小禹，专利代理机构广州微斗专利代理有限公司，专利代理师朱武、苏东琴，分类号F17D1/02、F16L53/32、F16L53/70、F17D1/08、F17D3/01。

专利摘要显示，本发明涉及一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，按输入至输出方向，依次包括原料罐、增压泵、缓冲罐、加热装置及纯化装置，所述原料罐用于储存液态二氧化碳，所述增压泵用于将所述原料罐的液态二氧化碳输送至所述缓冲罐并加压，所述加热装置连接缓冲罐的输出端，用于将缓冲罐输出的液态二氧化碳加热气化，所述纯化装置用于对加热装置输出的气态二氧化碳进行纯化，去除气态二氧化碳中的杂质。本发明提供的芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，连续供应性和稳定性更强。

广钢气体成立于2014年9月11日，于2023年8月15日在上海证券交易所上市，注册地址位于广东省广州市，办公地址也在广州市。它是国内领先的电子大宗气体供应商，具备全产业链优势，投资价值凸显。

广钢气体主营业务为研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体，所属申万行业为电子-电子化学品Ⅱ-电子化学品Ⅲ，涉及半导体材料、电子特气、半导体产业等概念板块。

2025年，广钢气体营业收入24.24亿元，行业排名12/35，高于行业平均数19.23亿元和中位数15.04亿元，与第一名西陇科学73.31亿元、第二名国瓷材料45.83亿元有差距。主营业务中，电子大宗气体17.32亿元占比71.42%。净利润2.89亿元，行业排名10/35，高于行业平均数1.8亿元和中位数1.23亿元，与第一名鼎龙股份7.96亿元、第二名安集科技7.84亿元存在差距。

广州广钢气体能源股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1常温催化双金属催化剂的制备方法及超纯氮气的制备方法发明专利公布CN202511887083.52025-12-15CN121534730A2026-02-17温智杰、周欣、李忠、楼旭莱2共沉淀铜锰催化剂的制备方法及超纯氮气的制备方法发明专利授权CN202511881670.32025-12-15CN121288835B2026-04-03楼旭莱、胡雪沁、周欣、温智杰、麦耀舜3一种常温催化脱除超纯气体中CO的催化剂及其制备方法发明专利授权CN202511811786.X2025-12-04CN121244234B2026-04-03刘继雄、楼旭莱、周欣、温智杰、区炜坚4一种脱除氦气中氖气的多孔吸附材料及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510174019.62025-02-18CN119633756B2025-06-27邓韬、刘继雄、滕飞、柳先林、夏启斌、罗皓元、李忠5一种超导磁体冷却控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411568711.92024-11-05CN119446705A2025-02-14梁婵、柳先林、沈钦赐6一种氦气泄漏自动巡查设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411568707.22024-11-05CN119665129A2025-03-21刘继雄、梁婵、柳先林7一种呼吸用氦氧混合气制作装置及方法发明专利授权、公布CN202411568709.12024-11-05CN119633627B2025-11-04柳先林、滕飞、周文8一种双金属MOR分子筛及其制备方法和应用发明专利授权、公布CN202411465528.62024-10-21CN118993098B2025-01-10邓韬、柳先林、夏启斌、黄嘉晋、李忠、周欣9一种用于筛分分离氮气和氢气的碳分子筛的绿色制备方法发明专利授权、公布CN202411464123.02024-10-21CN118993064B2025-01-10邓韬、李伟、楼旭铼、周欣、宛然、李忠、夏启斌10一种连续配置和回收三氟化氮电解液工艺发明专利授权、公布CN202410780912.92024-06-18CN118360619B2024-08-27邓韬、李伟、刘明旻11一种制备三氟化氮的电解槽实用新型授权CN202421285695.82024-06-06CN222574806U2025-03-07王开兵、刘明旻、李英龙12一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统发明专利授权、公布CN202410053411.02024-01-15CN118009216B2024-08-09许高坡、钟小禹、徐亚军13一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统发明专利授权、公布CN202410053230.82024-01-15CN118031107B2024-08-27邓韬、许高坡、孙永康14一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统发明专利授权CN202410053314.12024-01-15CN117739275B2026-06-30邓韬、许高坡、钟小禹15芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311844527.82023-12-29CN117490268B2024-03-26邓韬、许高坡、钟小禹16一种氦气充装压力与温度控制方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202311783081.22023-12-22CN117889348A2024-04-16刘继雄、徐亚军、孔祥开17一种氦气充装方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202311676878.22023-12-07CN117906048A2024-04-19刘继雄、徐亚军、孔祥开18一种降低客户用量波动影响的控制方法和系统发明专利授权、公布CN202311508851.22023-11-13CN117519324B2024-06-28邓韬、陆岩柱、庞承赟、付涛19一种空分装置智能控制方法、系统、设备及存储介质发明专利授权、公布CN202311503121.32023-11-13CN117537573B2024-07-05邓韬、陆岩柱、王开兵、李东江20用于制氮生产线的冷箱密封气持续供应装置及方法发明专利授权、公布CN202311401489.92023-10-26CN117387309B2024-06-28尹登科、许高坡、庞承赟21甲醇裂解制氢设备开机控制方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311216197.82023-09-19CN117361441B2024-06-07陆岩柱、许高坡、鞠昊、陈磊22一种基于超声主动激振的密闭容器泄漏检测装置及方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202311202418.62023-09-18CN116929662B2023-12-15刘继雄、徐亚军、孔祥开23一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202311185988.92023-09-14CN116926492B2023-11-28许高坡、梁蝉、滕飞24一种氦气纯化方法及设备发明专利授权CN202311179472.32023-09-12CN117383524B2026-01-06刘继雄、徐亚军、孔祥开25一种面向厂房的氦气回收设备及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311118787.72023-08-31CN116943386B2024-04-02梁婵、柳先林、刘继雄26一种有油活塞氦气压缩机专用净化装置发明专利授权、公布CN202311123088.12023-08-31CN117128171B2024-07-05陆岩柱、许高坡、柳先林27一种氦气净化设备及净化方法发明专利授权、公布CN202311118823.X2023-08-31CN117123024B2024-07-05邓韬、许高坡、柳先林28一种氦气回收气囊储存运载收放系统发明专利授权、公布CN202311118812.12023-08-31CN117146172B2024-07-05邓韬、王开兵、陆岩柱29一种疏松态固态储氦合金的成型装置、制备设备及方法发明专利授权、公布CN202311118807.02023-08-31CN117123778B2024-07-05邓韬、李伟、胡雪沁30一种基于空分系统的循环风机控制方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311110081.62023-08-30CN117128183B2024-06-07陆岩柱、王开兵、许高坡、马延华31一种高效的混合型驱动模式的循环水冷却系统实用新型授权CN202322336357.42023-08-29CN220624967U2024-03-19王开兵、陆岩柱32空冷塔上层冷冻水的闭式循环系统实用新型授权CN202322336313.12023-08-29CN221005696U2024-05-24许高坡、王开兵33一种多套制氮装置仪表气共享的系统及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310985735.32023-08-07CN116753465B2024-03-19尹登科、许高坡、庞承赟34一种面向液氮输送不锈钢管道的磁流变抛光装置及其方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310838310.X2023-07-10CN116551476B2023-09-15许高坡、尹登科、鞠昊35一种工业氦气全自动充装装置及其充装方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310818360.12023-07-04CN117053090B2024-04-02邓韬、梁婵、柳先林、陈明生36一种不燃混合气自动充装装置及其充装方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310819271.92023-07-04CN117028832B2024-04-02陆岩柱、柳先林、滕飞、陈明生37一种车载氦气瓶固定装置及其管束车发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310808214.02023-07-03CN117048479B2024-04-02邓韬、梁婵、柳先林、陈明生38一种高纯液氦输送管道无损检测机器人发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202310794677.62023-06-30CN116818911A2023-09-29梁婵、尹登科、柳先林39一种高纯度不锈钢管道现场焊接装置及其使用方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202310775624.X2023-06-28CN116511906B2023-09-15陆岩柱、许高坡、王邵林40一种冷能回收利用系统及其回收方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202310771125.32023-06-28CN116499151B2023-09-26刘继雄、滕飞、孔祥开41一种高纯氧冷箱实用新型授权CN202321539593.X2023-06-15CN220187221U2023-12-15邓韬、李伟、胡雪沁42一种冷箱实用新型授权CN202320621241.22023-03-24CN219963996U2023-11-07李伟、胡雪沁、滕飞、马延华、谭燕43一种水溶性光固化聚酰亚胺及其制备方法和应用发明专利授权、公布CN202210259009.92022-03-16CN114634620B2024-09-20邓韬、范胜标、贲志山、凌峰、刘继雄、滕飞、鞠昊44一种三维多孔结构铜锰复合催化剂及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202210051577.X2022-01-17CN114534740B2023-01-31邓韬、范胜标、贲志山、凌峰、刘继雄、徐亚军45一种激光点火器、垃圾焚烧装置及其控制方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202110939687.52021-08-16CN113757721B2023-01-31王开兵、刘继雄、滕飞、徐亚军、钟小禹46一种疫苗超低温储运冷箱实用新型授权CN202121815216.52021-08-04CN215864199U2022-02-18刘继雄、滕飞、徐亚军、王开兵、钟小禹47一种飞灰处置的局部富氧燃烧装置及控制方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202110846808.12021-07-26CN113757685B2023-06-13王开兵、刘继雄、滕飞、徐亚军、钟小禹48一种多模式纯氧燃烧方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202110846803.92021-07-26CN113757692B2024-05-24王开兵、刘继雄、滕飞、徐亚军、钟小禹49一种玻璃制品表面抛光火焰枪、抛光装置及抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202011635885.42020-12-31CN112777924B2021-10-12邓韬、范胜标、贲志山、凌峰、刘继雄、徐亚军50一种玻璃窑炉及具有其的玻璃制品生产装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202011632142.12020-12-31CN112759230B2021-11-12邓韬、范胜标、贲志山、凌峰、刘继雄、高生明